په پاکه کوټه کې د حرارت او هوا د فشار کنټرول

د چاپیریال ساتنې ته ډیره پاملرنه کیږي ، په ځانګړي توګه د دوړې هوا په ډیریدو سره. د پاکې کوټې انجینرۍ د چاپیریال ساتنې یو له اقداماتو څخه دی. د چاپیریال ساتنې په برخه کې د ښه کار کولو لپاره د پاکې خونې انجینرۍ څنګه کارول کیږي؟ راځئ چې د پاکې خونې انجینرۍ کې د کنټرول په اړه وغږیږو.

په پاکه خونه کې د تودوخې او رطوبت کنټرول

د پاکو ځایونو تودوخه او رطوبت په عمده توګه د پروسې اړتیاو پراساس ټاکل کیږي، مګر کله چې د پروسې اړتیاوې پوره شي، د انسان آرامۍ باید په پام کې ونیول شي. د هوا د پاکوالي اړتیاوو ته وده ورکولو سره، په پروسه کې د تودوخې او رطوبت لپاره د سختو اړتیاو رجحان شتون لري.

د عمومي اصولو په توګه، د پروسس د زیاتیدونکي دقیقیت له امله، د تودوخې د بدلون سلسله اړتیاوې کوچنۍ او کوچنۍ کیږي. د مثال په توګه ، د لوی پیمانه مدغم سرکټ تولید لیتوګرافي او افشا کولو پروسې کې ، د ماسک موادو په توګه کارول شوي شیشې او سیلیکون ویفرونو ترمینځ د تودوخې توسعې کوفینټ کې توپیر په زیاتیدونکي توګه کوچنی کیږي.

یو سیلیکون ویفر د 100 μm قطر سره د 0.24 μm د خطي پراخیدو لامل کیږي کله چې د تودوخې درجه 1 درجې لوړه شي. له همدې امله، د ± 0.1 ℃ دوامداره تودوخې ته اړتیا ده، او د رطوبت ارزښت عموما ټیټ دی ځکه چې د خولې کولو وروسته، محصول به ککړ شي، په ځانګړې توګه د سیمیک کنډکټر ورکشاپونو کې چې د سوډیم څخه ویره لري. دا ډول ورکشاپ باید د 25 ℃ څخه زیات نشي.

ډیر رطوبت د ډیرو ستونزو لامل کیږي. کله چې نسبي رطوبت له 55٪ څخه ډیر شي، کنډسیشن به د یخولو اوبو پایپ دیوال کې رامینځته شي. که دا په دقیقو وسیلو یا سرکټونو کې پیښ شي ، نو دا د مختلف پیښو لامل کیدی شي. کله چې نسبي رطوبت 50٪ وي، د زنګ وهل اسانه دي. سربیره پردې ، کله چې رطوبت خورا لوړ وي ، د سیلیکون ویفر سطح ته غاړه ایښودل شوي دوړې به په کیمیاوي ډول په هوا کې د اوبو مالیکولونو له لارې په سطح باندې جذب شي ، کوم چې لرې کول ستونزمن دي.

هرڅومره چې نسبي رطوبت لوړ وي ، د چپکولو لرې کول خورا سخت دي. په هرصورت، کله چې نسبي رطوبت د 30٪ څخه کم وي، ذرات هم په اسانۍ سره په سطحه کې د الکتروسټټیک ځواک د عمل له امله جذب کیږي، او د سیمی کنډکټر ډیری وسایل د ماتیدو خطر لري. د سیلیکون ویفر تولید لپاره د تودوخې مطلوب حد 35-45٪ دی.

د هوا فشارکنټرولپه پاکه خونه کې 

د ډیری پاکو ځایونو لپاره، د بهرنی ککړتیا څخه د مخنیوی لپاره، دا اړینه ده چې داخلي فشار (جامد فشار) د بهرني فشار (جامد فشار) څخه لوړ وساتي. د فشار توپیر ساتل باید عموما د لاندې اصولو سره مطابقت ولري:

1. په پاکو ځایونو کې فشار باید د غیر پاکو ځایونو په پرتله لوړ وي.

2. په هغو ځایونو کې فشار باید لوړ وي چې د پاکوالي کچه یې لوړه وي.

3. د پاکو خونو ترمنځ دروازې باید د هغو خونو په لور پرانستل شي چې د پاکوالي لوړه کچه ولري.

د فشار توپیر ساتل د تازه هوا په مقدار پورې اړه لري، کوم چې باید د دې فشار توپیر لاندې د تشې څخه د هوا لیک لپاره جبران شي. نو د فشار توپیر فزیکي معنی په پاکه خونه کې د مختلف تشو له لارې د لیکیدو (یا نفوذ) هوا جریان مقاومت دی.