د چاپیریال ساتنې ته ډیره پاملرنه کیږي، په ځانګړې توګه د دوړې هوا د زیاتوالي سره. د پاکې خونې انجینري د چاپیریال ساتنې یو له اقداماتو څخه دی. د چاپیریال ساتنې په برخه کې د ښه کار کولو لپاره د پاکې خونې انجینري څنګه وکاروئ؟ راځئ چې د پاکې خونې انجینرۍ کې د کنټرول په اړه وغږیږو.
په پاکه خونه کې د تودوخې او رطوبت کنټرول
د پاکو ځایونو تودوخه او رطوبت په عمده توګه د پروسې اړتیاو پراساس ټاکل کیږي، مګر کله چې د پروسې اړتیاوې پوره کیږي، د انسان آرامۍ باید په پام کې ونیول شي. د هوا د پاکوالي اړتیاو د ښه والي سره، د پروسې په جریان کې د تودوخې او رطوبت لپاره د سختو اړتیاو رجحان شتون لري.
د عمومي اصل په توګه، د پروسس کولو د دقت د زیاتوالي له امله، د تودوخې د بدلون حد لپاره اړتیاوې کوچنۍ او کوچنۍ کیږي. د مثال په توګه، د لوی پیمانه مدغم سرکټ تولید په لیتوګرافي او افشا کولو پروسه کې، د ماسک موادو په توګه کارول شوي شیشې او سیلیکون ویفرونو ترمنځ د تودوخې پراختیا ضخامت کې توپیر په زیاتیدونکي توګه کوچنی کیږي.
د سلیکون ویفر چې د ۱۰۰ μm قطر لري د ۰.۲۴ μm خطي پراخوالي لامل کیږي کله چې تودوخه ۱ درجې لوړه شي. له همدې امله، د ± ۰.۱ ℃ دوامداره تودوخه اړینه ده، او د رطوبت ارزښت عموما ټیټ وي ځکه چې د خولې کولو وروسته، محصول به ککړ شي، په ځانګړې توګه په سیمیکمډکټر ورکشاپونو کې چې د سوډیم څخه ویره لري. دا ډول ورکشاپ باید له ۲۵ ℃ څخه زیات نه وي.
ډیر رطوبت ډیرې ستونزې رامینځته کوي. کله چې نسبي رطوبت له 55٪ څخه ډیر شي، د یخولو اوبو پایپ دیوال باندې به کنډیشن رامینځته شي. که چیرې دا په دقیق وسیلو یا سرکټونو کې پیښ شي، نو دا کولی شي د مختلفو پیښو لامل شي. کله چې نسبي رطوبت 50٪ وي، نو زنګ وهل اسانه دي. سربیره پردې، کله چې رطوبت ډیر لوړ وي، د سیلیکون ویفر سطحې ته تړلې دوړې به په کیمیاوي ډول په هوا کې د اوبو مالیکولونو له لارې په سطحه جذب شي، چې لرې کول یې ستونزمن دي.
څومره چې نسبي رطوبت لوړ وي، هومره د چپکولو لرې کول ګران وي. په هرصورت، کله چې نسبي رطوبت د 30٪ څخه کم وي، ذرات هم د الکتروسټاتیک ځواک د عمل له امله په اسانۍ سره په سطحه جذب کیږي، او د سیمیکمډکټر وسیلو لوی شمیر د ماتیدو خطر لري. د سیلیکون ویفر تولید لپاره د تودوخې غوره حد 35-45٪ دی.
د هوا فشارکنټرولپه پاکه خونه کې
د ډیری پاکو ځایونو لپاره، د بهرني ککړتیا د مخنیوي لپاره، دا اړینه ده چې داخلي فشار (جامد فشار) د بهرني فشار (جامد فشار) څخه لوړ وساتل شي. د فشار توپیر ساتل باید عموما د لاندې اصولو سره سم وي:
۱. په پاکو ځایونو کې فشار باید د غیر پاکو ځایونو په پرتله لوړ وي.
۲. په هغو ځایونو کې چې د پاکوالي کچه لوړه وي فشار باید د هغو ګاونډیو ځایونو په پرتله لوړ وي چې د پاکوالي کچه یې ټیټه وي.
۳. د پاکو خونو ترمنځ دروازې باید د هغو خونو په لور پرانیستل شي چې د پاکوالي لوړه کچه لري.
د فشار توپیر ساتل د تازه هوا په مقدار پورې اړه لري، کوم چې باید د دې فشار توپیر لاندې تشې څخه د هوا لیکیدو لپاره جبران وکړي. نو د فشار توپیر فزیکي معنی د پاکې خونې په مختلفو تشو کې د لیکیدو (یا نفوذ) د هوا جریان مقاومت دی.
د پوسټ وخت: جولای-۲۱-۲۰۲۳