د IC تولید صنعت کې د چپ د حاصل کچه د چپ په اندازه او شمیر پورې اړه لري چې په چپ کې زیرمه شوي هوا ذراتو اندازه. د هوا ښه تنظیم کولی شي د دوړو سرچینې لخوا رامینځته شوي ذرات د پاکې خونې څخه لرې کړي ترڅو د پاکې خونې پاکوالی ډاډمن کړي، دا دی، په پاکه خونه کې د هوا جریان تنظیم د IC تولید د حاصلاتو کچه کې مهم رول لوبوي. په پاکه خونه کې د هوا جریان تنظیم ډیزاین باید لاندې اهداف ترلاسه کړي: د زیان رسونکي ذراتو د ساتلو څخه مخنیوي لپاره د جریان په ساحه کې د ایډي جریان کمول یا له منځه وړل؛ د کراس ککړتیا مخنیوي لپاره د مناسب مثبت فشار تدریجي ساتل.
د هوا د جریان ځواک
د پاکې خونې د اصل له مخې، هغه قوې چې په ذراتو باندې عمل کوي عبارت دي له ډله ایز ځواک، مالیکولي قوه، د ذراتو ترمنځ جذب، د هوا جریان قوه، او داسې نور.
د هوا جریان ځواک: د هوا جریان هغه ځواک ته اشاره کوي چې د تحویلي، بیرته راګرځیدونکي هوا جریان، د تودوخې کنویکشن هوا جریان، مصنوعي حرکت، او نورو هوا جریانونو له امله رامینځته کیږي چې د ذراتو لیږدولو لپاره یو ټاکلی جریان لري. د پاکې خونې چاپیریال تخنیکي کنټرول لپاره، د هوا جریان ځواک ترټولو مهم فاکتور دی.
تجربو ښودلې ده چې د هوا جریان په حرکت کې، ذرات د هوا جریان حرکت تقریبا په ورته سرعت سره تعقیبوي. په هوا کې د ذراتو حالت د هوا جریان ویش لخوا ټاکل کیږي. هغه هوا جریان چې د کور دننه ذراتو باندې اغیزه کوي په عمده توګه عبارت دي له: د هوا رسولو هوا جریان (د لومړني هوا جریان او ثانوي هوا جریان په شمول)، د هوا جریان او د تودوخې کنویکشن هوا جریان چې د خلکو د تګ له امله رامینځته کیږي، او د پروسې عملیاتو او صنعتي تجهیزاتو له امله رامینځته شوی هوا جریان. د هوا رسولو مختلف میتودونه، د سرعت انٹرفیسونه، چلونکي او صنعتي تجهیزات، او په پاکو خونو کې هڅول شوي پیښې ټول هغه عوامل دي چې د پاکوالي کچه اغیزه کوي.
هغه عوامل چې د هوا جریان تنظیم اغیزمنوي
۱. د هوا رسولو طریقې اغیز
(۱). د هوا رسولو سرعت
د هوا د جریان د یو شان والي د ډاډ ترلاسه کولو لپاره، د هوا رسولو سرعت باید په یو طرفه پاکه خونه کې یو شان وي؛ د هوا رسولو سطحې مړ زون باید کوچنی وي؛ او په ULPA کې د فشار کمښت هم باید یو شان وي.
د هوا رسولو یوشان سرعت: یعني، د هوا جریان نابرابري د ±20٪ دننه کنټرول کیږي.
د هوا رسولو په سطحه کې لږ مړ زون: نه یوازې باید د ULPA چوکاټ د سطحې ساحه کمه شي، بلکې تر ټولو مهم، د اضافي چوکاټ ساده کولو لپاره باید ماډلر FFU غوره شي.
د عمودی یو اړخیزه هوا جریان ډاډمن کولو لپاره، د فلټر د فشار کمیدو انتخاب هم خورا مهم دی، چې اړتیا لري په فلټر کې د فشار ضایع انحراف ونکړي.
(۲). د FFU سیسټم او محوري جریان فین سیسټم ترمنځ پرتله کول
FFU د هوا رسولو یو واحد دی چې فین او فلټر (ULPA) لري. وروسته له دې چې هوا د FFU د سینټرفیوګال فین لخوا جذب شي، متحرک فشار د هوا په نل کې په جامد فشار بدلیږي او د ULPA لخوا په مساوي ډول بهر کیږي. په چت کې د هوا رسولو فشار منفي فشار دی، نو کله چې فلټر بدل شي نو هیڅ دوړې به پاکې خونې ته نه ننوځي. تجربو ښودلې چې د FFU سیسټم د هوا د وتلو یووالي، د هوا د جریان موازي کولو او د هوا د موثریت شاخص له مخې د محوري جریان فین سیسټم څخه غوره دی. دا ځکه چې د FFU سیسټم د هوا جریان موازي کول غوره دي. د FFU سیسټم کارول کولی شي په پاکه خونه کې د هوا جریان ښه تنظیم کړي.
(۳). د FFU د خپل جوړښت نفوذ
FFU په عمده توګه د فینونو، فلټرونو، د هوا جریان لارښود وسیلو او نورو برخو څخه جوړ شوی دی. د الټرا لوړ موثریت فلټر ULPA د دې لپاره خورا مهم تضمین دی چې ایا پاک خونه کولی شي د ډیزاین اړین پاکوالی ترلاسه کړي. د فلټر مواد به د جریان ساحې یووالي هم اغیزمن کړي. کله چې د فلټر آوټ لیټ ته یو موټی فلټر مواد یا د لامینار جریان پلیټ اضافه شي، د آوټ لیټ جریان ساحه په اسانۍ سره یونیفورم کیدی شي.
۲. د پاکوالي د مختلفو سرعت انٹرفیسونو اغیز
په ورته پاکه خونه کې، د عمودی یو اړخیز جریان د کاري ساحې او غیر کاري ساحې ترمنځ، د ULPA آوټ لیټ کې د هوا سرعت کې د توپیر له امله، په انٹرفیس کې به یو مخلوط ورټیکس اغیز رامینځته شي، او دا انٹرفیس به د هوا جریان زون شي چې په ځانګړي ډول د لوړ هوا turbulence شدت سره. ذرات ممکن د تجهیزاتو سطحې ته لیږدول شي او تجهیزات او ویفرونه ککړ کړي.
۳. د کارمندانو او تجهیزاتو اغیز
کله چې پاکه خونه خالي وي، په خونه کې د هوا جریان ځانګړتیاوې عموما د ډیزاین اړتیاوې پوره کوي. کله چې تجهیزات پاکې خونې ته ننوځي، پرسونل حرکت کوي او محصولات لیږدول کیږي، نو د هوا جریان تنظیم کولو لپاره به خامخا خنډونه وي. د مثال په توګه، د تجهیزاتو په پراخو کونجونو یا څنډو کې، ګاز به د ګډوډ زون جوړولو لپاره وګرځول شي، او په زون کې مایع په اسانۍ سره د ګاز لخوا نه لیږدول کیږي، پدې توګه د ککړتیا لامل کیږي. په ورته وخت کې، د تجهیزاتو سطحه به د دوامداره عملیاتو له امله تودوخه شي، او د تودوخې تدریجي به د ماشین ته نږدې د ری فلو زون لامل شي، کوم چې به د ری فلو زون کې د ذراتو راټولیدل زیات کړي. په ورته وخت کې، لوړه تودوخه به په اسانۍ سره د ذراتو د تیښتې لامل شي. دوه ګونی اغیزه د ټول عمودی لامینر پاکوالي کنټرول کولو ستونزه ډیروي. په پاکه خونه کې د آپریټرانو څخه دوړې د دې ری فلو زونونو کې ویفرونو ته د تعقیب لپاره خورا اسانه دي.
۴. د بیرته راستنیدو هوا د فرش نفوذ
کله چې د فرش څخه د تېرېدونکي بیرته راستنیدونکي هوا مقاومت توپیر ولري، د فشار توپیر به رامینځته شي، نو هوا به د لږ مقاومت په لور روانه شي، او یوشان هوا به ترلاسه نشي. د ډیزاین اوسنی مشهور میتود د لوړ پوړونو کارول دي. کله چې د لوړ پوړونو د پرانیستلو کچه 10٪ وي، د خونې د کاري لوړوالي کې د هوا جریان سرعت په مساوي ډول ویشل کیدی شي. سربیره پردې، د فرش د ککړتیا سرچینې کمولو لپاره باید د پاکولو کار ته سخته پاملرنه وشي.
۵. د انډکشن پدیده
د تش په نامه انډکشن پدیده هغه پدیدې ته اشاره کوي چې د یونیفورم جریان په مخالف لوري کې د هوا جریان رامینځته کیږي، او په خونه کې رامینځته شوي دوړې یا د نږدې ککړې سیمې دوړې د باد لوري ته لیږدول کیږي، ترڅو دوړې کولی شي چپ ککړ کړي. لاندې د انډکشن احتمالي پیښې دي:
(۱). ړنده پلیټ
په یوه پاکه خونه کې چې عمودي یو طرفه جریان لري، په دیوال کې د بندونو له امله، عموما لوی ړانده پلیټونه شتون لري چې د ځایی بیرته راستنیدو جریان کې ګډوډي رامینځته کوي.
(۲). څراغونه
په پاکه خونه کې د رڼا کولو وسایل به ډیر اغیز ولري. څرنګه چې د فلوروسینټ څراغونو تودوخه د هوا جریان لوړیدو لامل کیږي، نو د فلوروسینټ څراغونو لاندې به هیڅ ګډوډي ساحه نه وي. عموما، په پاکه خونه کې څراغونه د اوښکو په شکل ډیزاین شوي ترڅو د هوا جریان تنظیم باندې د څراغونو اغیز کم کړي.
(۳.) د دیوالونو ترمنځ تشې
کله چې د مختلفو پاکوالي کچو لرونکو برخو یا د برخو او چتونو ترمنځ تشې شتون ولري، نو د هغه ساحې څخه دوړې چې د پاکوالي ټیټې اړتیاوې لري د لوړ پاکوالي اړتیاو سره نږدې سیمې ته لیږدول کیدی شي.
(۴). د ماشین او فرش یا دیوال ترمنځ واټن
که چیرې د ماشین او فرش یا دیوال ترمنځ واټن ډیر کوچنی وي، نو دا به د بیرته راګرځیدو لامل شي. له همدې امله، د تجهیزاتو او دیوال ترمنځ واټن پریږدئ او ماشین پورته کړئ ترڅو ماشین مستقیم ځمکې ته ونه لمس شي.
د پوسټ وخت: فبروري-۰۵-۲۰۲۵