د درملو پاکولو خونه او نیمه کارونکي: کوم یو ډیر تقاضا لري؟

د ذراتو کنټرول: د مایکروبونو سره مبارزه د دوړو کنټرول

د درملو په پاکو خونو کې ترټولو لوی ګواښ د مایکروبیل ککړتیا ده.

هغه ذرات چې ≥5µm وي اکثرا د باکتریا یا فنګس لپاره د لیږدونکي په توګه عمل کوي. د A درجې په حساس چاپیریال کې، دا ذرات باید په بشپړ ډول غیر حاضر وي. هر ډول انحراف د بشپړې پلټنې لامل کیږي - که د ناکافي تعقیم، د چلونکي ککړتیا، یا د تجهیزاتو د مړو زونونو له امله وي.

په نیمه‌سیمکټر فابریکو کې، اصلي دښمن خورا ښه ذرات دي.

په پرمختللو نوډونو لکه 3nm یا 5nm کې، د 0.1µm یا حتی 0.05µm په څیر کوچني ذرات کولی شي د سرکټ بشپړتیا له منځه یوسي. دا مایکروسکوپي ککړونکي کولی شي په ویفرونو کې وژونکي نیمګړتیاوې رامینځته کړي. په زړه پورې خبره دا ده چې لوی ذرات (≥5µm) لږ مهم دي او ډیری وختونه یوازې د حوالې شاخصونو په توګه څارل کیږي.

په ساده ټکو کې:

➤ د درملو پاکولو خونې "مداخله کوونکي" (مایکرو ارګانیزمونه) نیسي.

➤ د سیمی کنډکټر پاکولو خونې د "دوړې" (ډیری ښه ذراتو) مخه نیسي.

یو مداخله کوونکی کولی شي د ژوند ګواښونکي پیښې لامل شي. یوه کوچنۍ ذره کولی شي یو چپ خراب کړي.

 

اصلي موخه: د ناروغانو خوندیتوب د حاصلاتو اصلاح کول

بنسټیز توپیر په وروستیو اهدافو کې دی.

د درملو پاکولو خونې: لومړی خوندیتوب

د درملو هر محصول بالاخره د انسان بدن ته ننوځي. هر ډول مایکروبیل ککړتیا کولی شي جدي طبي پایلې ولري. له همدې امله، د درملو پاکولو خونې د سخت GMP (ښه تولیدي کړنو) مقرراتو لخوا اداره کیږي.

ډیزاین، عملیات، او اعتبار ټول په کلکه کنټرول کیږي. اطاعت د خبرو اترو وړ نه دی.

د سیمیکمډکټر پاکولو خونې: لومړی حاصل ورکړئ

په سیمیکمډکټر تولید کې مطلق صفر ککړتیا ناممکنه ده. پرځای یې، فابریکې موخه لري چې حاصلات غوره کړي - د پاکوالي او لګښت موثریت توازن کړي.

د ISO او SEMI په څیر معیارونه لارښوونې چمتو کوي، مګر شرکتونه د پروسې نوډونو او اقتصادي ملاحظاتو پراساس د پیرامیټرو تنظیم کولو لپاره انعطاف ساتي.

کلیدي توپیر:

➤ درملتون: "ناکامي ژوند په خطر کې اچوي."

➤سیمیکنډکټر: "ناکامي پیسې مصرفوي."

 

د چاپیریال کنټرول: انزوا او اصلاح

د هوا جریان او فشار

د درملو پاکولو خونې د فشار سخت توپیرونو ته اړتیا لري (معمولا 10-15 Pa) ترڅو د متقابل ککړتیا مخه ونیسي. که فشار ناکام شي نو سیسټمونه باید په څو دقیقو کې الارمونه رامینځته کړي، ځکه چې د هوا جریان بیرته راګرځیدلی شي کولی شي ټولې بستې زیانمنې کړي.

د سیمیکمډکټر فابریکې په یونیفورم هوا جریان او د انرژۍ موثریت تمرکز کوي. د FFU (فین فلټر یونټ) سیسټمونو په کارولو سره، دوی عمودی لامینار جریان د ډیر آرام فشار تدریجي (2-5 Pa) سره ساتي، ډیری وختونه د متغیر فریکونسۍ کنټرول له لارې په متحرک ډول غوره کیږي.

تودوخه، رطوبت، او AMC

په درمل جوړولو چاپیریال کې، تودوخه او رطوبت په عمده توګه د آپریټر آرامۍ او مایکروبیل کنټرول ملاتړ کوي. پداسې حال کې چې مهم دي، د دقت اړتیاوې نسبتا معتدل دي.

په نیمه نیمه فابریکو کې، د چاپیریال کنټرول د پروسې لپاره خورا مهم دی.

د مثال په ډول:

➤ د فوتو لیتوګرافي ساحې ممکن د 22 درجو سانتی ګراد ±0.3 درجو سانتی ګراد ته اړتیا ولري

➤ حتی لږ بدلونونه کولی شي د کرښې د عرض دقت اغیزمن کړي

د AMC (د هوا له لارې د مالیکولر ککړتیا) کنټرول ډیر پیچلی دی:

➤ د تیزابونو یا امونیا د نښې کچه باید د ppb (په هر ملیارد برخو) کچه کې وساتل شي.

➤ حتی لږ کیمیاوي ککړتیا کولی شي د لیتوګرافي آپټیکس سره مداخله وکړي او حاصلات کم کړي.

د کیمیاوي کنټرول دا کچه په پراخه کچه د درملو په پاکولو خونو کې شتون نلري.